碳化硅研磨深加工
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雷蒙磨和球磨机的区别

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全自动智能化环保节能立式磨粉机已经新鲜出炉啦!

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碳化硅研磨深加工

  • 碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势 艾邦半导体网

    2024年8月24日  本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对比各类磨抛技术的特点,指出碳化硅衬底磨抛加工技术面临的挑战和发展趋势,以期为大尺寸碳化硅衬底的高质量、高效率、低成本加工提供新的思路和方法。

  • 详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 知乎

    2023年4月28日  研磨工艺是去除切割过程中造成碳化硅晶片的表面刀纹以及表面损伤层,修复切割产生的变形。 由于SiC的高硬度,研磨过程中必须使用高硬度的磨料(如碳化硼或金刚石粉)研磨SiC切片的晶体表面。 常规的研磨工艺一般分为粗磨和精磨。 1)常规双面磨工艺 目前国内较多的碳化硅衬底厂商已经在规模化生产的工艺方案。 a)粗磨:采用铸铁盘+单

  • 4米的碳化硅“大眼睛”是怎么炼成的?——访中国科学院长春

    2024年7月22日  王研究员: 碳化硅加工技术有很多阶段,每个阶段都有不同的技术,铣磨阶段采用铣磨机床,其实跟机械加工差不多,主要是粗加工。 后面我们还需要研磨、粗抛光、精抛光,这些技术里面就分了很多种,比如CCOS(计算机控制光学表面成型技术)、应力盘抛光、气囊抛光,还有更高精度的磁流变抛光、离子束抛光,所以碳化硅的加工技术是

  • 工艺详解碳化硅晶片的工艺流程 知乎

    2020年12月8日  SiC单晶片的超精密加工工艺,按照其加工顺序,主要经历以下几个过程:定向切割、研磨(粗研磨、精研磨)、抛光(机械抛光)和超精密抛光(化学机械抛光)。

  • SiC, 碳化矽晶圓的研磨 研磨 解決方案 DISCO Corporation

    適用SiC晶圓的研磨輪 「GFSC Series」 SiC硬度高,難以有高品質且安定的研磨加工效果,需要有研磨效果更佳的研磨輪。 GFSC Series在SiC晶圓的粗研磨、細研磨上,實現了減低研磨帶來之負荷而提高加工安定性,並且加工品質提升及研磨輪壽命提升也是

  • 碳化硅单晶衬底加工技术现状及发展趋势 知乎

    2021年12月16日  针对碳化硅单晶衬底加工技术,本文综述了碳化硅单晶切片、薄化与抛光工艺段的研究现状,分析对比了切片、薄化、抛光加工工艺机理,指出了加工过程中的关键影响因素和未来发展趋势。

  • 碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势

    2024年4月17日  摘要: 碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应,给现有的加工技术带来了巨大的挑战,高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当下的研究热点本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对比

  • 超声振动辅助研磨单晶碳化硅晶片工艺研究

    2021年12月9日  针对传统研磨方法加工单晶碳化硅晶片存在的材料去除率低、磨料易团聚等问题,本文提出超声振动辅助研磨方法,并探究不同工艺参数(转速、磨料质量分数、抛光压力、磨料粒径)对单晶碳化硅晶片研磨效率和表面质量的影响规律。

  • 碳化硅晶片的“点金术”,磨抛工艺方案

    2023年12月1日  SiC衬底加工技术是器件制作的关键基础,因为其表面加工的质量和精,度直接影响到外延薄膜的质量和器件的性能。 因此,对于碳化硅衬底材料的加工,需要确保晶片表面超光滑、无缺陷、无损伤,表面粗糙度必须保持在纳米以下。

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    2024年8月24日  本文综述了碳化硅衬底机械磨抛加工技术和化学反应磨抛加工技术的研究进展,对比各类磨抛技术的特点,指出碳化硅衬底磨抛加工技术面临的挑战和发展趋势,以期为大尺寸碳化硅衬底的高质量、高效率、低成本加工提供新的思路和方法。

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    2023年4月28日  研磨工艺是去除切割过程中造成碳化硅晶片的表面刀纹以及表面损伤层,修复切割产生的变形。 由于SiC的高硬度,研磨过程中必须使用高硬度的磨料(如碳化硼或金刚石粉)研磨SiC切片的晶体表面。 常规的研磨工艺一般分为粗磨和精磨。 1)常规双面磨工艺 目前国内较多的碳化硅衬底厂商已经在规模化生产的工艺方案。 a)粗磨:采用铸铁盘+单晶金刚石研磨液双

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  • 超声振动辅助研磨单晶碳化硅晶片工艺研究

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    2021年12月9日  针对传统研磨方法加工单晶碳化硅晶片存在的材料去除率低、磨料易团聚等问题,本文提出超声振动辅助研磨方法,并探究不同工艺参数(转速、磨料质量分数、抛光压力、磨料粒径)对单晶碳化硅晶片研磨效率和表面质量的影响规律。

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    適用SiC晶圓的研磨輪 「GFSC Series」 SiC硬度高,難以有高品質且安定的研磨加工效果,需要有研磨效果更佳的研磨輪。 GFSC Series在SiC晶圓的粗研磨、細研磨上,實現了減低研磨帶來之負荷而提高加工安定性,並且加工品質提升及研磨輪壽命提升也是

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    2021年12月9日  针对传统研磨方法加工单晶碳化硅晶片存在的材料去除率低、磨料易团聚等问题,本文提出超声振动辅助研磨方法,并探究不同工艺参数(转速、磨料质量分数、抛光压力、磨料粒径)对单晶碳化硅晶片研磨效率和表面质量的影响规律。

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    2023年12月1日  SiC衬底加工技术是器件制作的关键基础,因为其表面加工的质量和精,度直接影响到外延薄膜的质量和器件的性能。 因此,对于碳化硅衬底材料的加工,需要确保晶片表面超光滑、无缺陷、无损伤,表面粗糙度必须保持在纳米以下。